第(3/3)页 如今,赵凯东已经正式和林本坚一起,全面攻克下一代光源,也就是248nm的krf准分子激光,即:DUV。 当然,远芯的远景计划远不仅如此。在全力攻克krf光源的同时,理论和实验步骤也在稳定地往上探,即193nm的arf准分子激光。 郑振川这边收获在即,于是便强烈请今年都半年了才回来一趟的苏远山前往光学实验室一叙。 苏远山自然是欣然应邀。 因为深知光刻机之痛的他,对光刻机项目组的支持那真的是不留余地,要钱给钱,要关系找关系,要材料器件便找材料期间,并且采购优先级提到了最高。 同时,在身处科技园的时间中,说他天天往光学实验室跑那自然是夸张,但他隔三岔五就会去逛一圈却是所有人都看在眼里的。 毕竟光刻机项目是合作类型,苏远山也不方便催促,只能用这种天天都“惦记”着的方式提醒郑振川他们搞快点。 …… 第二天,苏远山只把李明柳等人送到了大门口便直接折身返回,从一个员工手中“抢”了一辆自行车就直奔光学实验室。 抵达实验室后,他却被郑振川的秘书告知,老郑他们现在在无尘车间组装现场呢,问他要不要去看看。 于是苏远山换上防尘服,穿得就跟个宇航员一般进入了装配现场。 装配现场,起码超过五十个人正围绕着一台宽约两米,高约一米五的庞大机器指指点点,不断讨论,时不时的还有人用笔记本在记录着数据。 见到苏远山,郑振川冲他一招手。 “快来,你这个百事通。” 苏远山:“……” 第(3/3)页